扫描电镜基本知识：扫描电镜电子光学系统：由电子长筒械具，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。信号收集及显示系统：检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。真空系统：真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。扫描电镜在电子扫描中,把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描。安顺蔡司扫描电镜制造商

SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。分辨率高，放大倍数范围广，可以从几倍到几十万倍，连续可调，便于寻找缺陷并建立微观形貌和宏观形貌之间的联系；景深大，有很强的立体感，适于观察像断口那样粗糙的表面；加配能谱仪和波谱仪后，可同时进行成分分析。安顺蔡司扫描电镜制造商扫描电镜可以进行材料断口的分析。

扫描电镜应用范围：进行动态观察。在扫描电镜中,成象的信息主要是电子信息。根据近代的电子工业技术水平,即使高速变化的电子信息,也能毫不困难的及时接收、处理和储存,故可进行一些动态过程的观察。如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件,则可以通过电视装置,观察相变、断裂等动态的变化过程。10从试样表面形貌获得多方面资料。在扫描电镜中,不但可以利用入射电子和试样相互作用产生各种信息来成象,而且可以通过信号处理方法,获得多种图象的特殊显示方法,还可以从试样的表面形貌获得多方面资料。

真空系统：真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝长筒械具的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射长筒械具或六硼化镧及六硼化铈长筒械具的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，用于放置样品。需要真空的原因包括：一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。扫描电镜普遍应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。

扫描电镜较基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色，例如：生物学，植物学，地质学，冶金学等等。观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸，纺织品，自然的或制备过的木头的细微结构，生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如：花粉颗粒，硅藻和昆虫。另一方面，它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。扫描电镜普遍应用于化学领域的微观研究。安顺蔡司扫描电镜制造商

扫描电镜的样品制备很简单。安顺蔡司扫描电镜制造商

冷场发射式：冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场，使电子从钨线圈中下来，要求具有超高真空度，但使用寿命较长，且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小，亮度较高，因此影像分辨率较优。能量散布较小，故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附，而降低场发射电流，因此使得发射电流不稳定，发射体使用寿命短，冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高，冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作，虽然如此，还是需要定时短暂加热针尖至2500K（此过程叫做flashing，定时对针尖进行清洗），以去除所吸附的气体原子，此外，他的发射的总电流较小，但局限于单一的图像观察,应用范围有限。要从极细的钨针尖场发射电子，金属表面必需完全干净，无任何外来材料的原子或分子在其表面，即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射，所以场发射电子长筒械具必需保持超高真空度，来防止钨阴极表面累积原子。安顺蔡司扫描电镜制造商

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